HYBRID/DLC凹板

開発各社の特徴

超大型・超高精度フォトマスク製作メーカー
フォトマスクの株式会社進映社
ハードクロムマスク（原版）の製作

超精密ガラス原版メーカー
株式会社大山光学
ガラスエッチング品の製作

超精密薄膜製造メーカー
Bring You The Solution
GEOMATEC
バッファ＋DLCのスパッタリング成膜

HIBRID/DLC凹板の特徴

超高精度

• 高精度レーザー描画装置による原版の作成
• 原版と同等のガラスエッチング制度
• エッチング深度±0.1µm、ミニマム解像度10µm

高耐久性

• ガラスエッチングのエッジ部をR形状にすることによりドクターの磨耗低減
• DLC表面硬度1,500Hv以上
• ドクタースキージング10,000回以上の連続印刷可能

超大型平板

• DLCの最大サイズ（現在）1,450×1,650mm
• クロムハードマスクは2,000×2,500mmクラスに対応可能（進映社）